玻璃晶圓清洗
基板潔淨度對於鍍膜品質有相當程度的影響，因此冠晶發展了高潔淨度的玻璃晶圓清洗技術，清洗後能夠清除10um粉塵並有效控制5um粉塵。
產品規格：此為常規產品，若有客製化需求歡迎提出討論
向右滑動表格| Prod ID | Spec | File |
|---|---|---|
| Glass-CLN | >10um, <5ea |  |
外觀與可靠度規格
向右滑動表格| 使用波段範圍 | VIS / UV-VIS-NIR | 表面品質 | 10/5 (MIL-PRF-13830B) or Semi level |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | Semi, Reclaim wafe | 邊緣無效區 | ≦2mm |
| 基板材質 | Glass, Si or else | 翹曲 | <1mm |
| 基板範圍(圓形) | ≦Φ300mm | 附著性(百格試驗) | Pass ISO Class#0 & ASTM Class#5B |
| 基板範圍(方形) | ≦350*350 mm | 硬度 | JISK5600,Pencil: ≧9Ｈ,Weight: 750g |
| 基板厚度範圍 | 0.1~1.1 mm | 可靠度測試 | 85℃ 85％ : ≧1000 / 1500 hr |
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