GC-DIELEC
冠晶具有多種高品質介電質膜鍍膜技術，可選用材料包含SiO2、SiN、Al2O3、AlN、TiO2、TiN、Nb2O5、ZrO2等，可用於絕緣、抗腐蝕、高硬度、特殊元件、表面裝飾等多種用途，除矽晶圓外，玻璃與軟性基板也可使用。
產品可以直接整合於半導體廠/封裝廠生產線。
此為規格化產品，若有其他需求請至”委託設計/金屬膜[連結]”參考客製化項目。
產品規格：此為常規產品，若有客製化需求歡迎提出討論
向右滑動表格| Prod ID | Thinkness(nm) | Uniformity Spec | File |
|---|---|---|---|
| SiO2 | 10/100/1000 | ±1%, ±5%, ±10% |  |
| SiN | 10/100/1000 | ±1%, ±5%, ±10% | |
| Al2O3 | 10/100/1000 | ±1%, ±5%, ±10% | |
| AlN | 10/100/1000 | ±1%, ±5%, ±10% | |
| TiO2 | 10/100/1000 | ±1%, ±5%, ±10% | |
| TiN | 10/100/1000 | ±1%, ±5%, ±10% | |
| Nb2O5 | 10/100/1000 | ±1%, ±5%, ±10% | |
| ZrO2 | 10/100/1000 | ±1%, ±5%, ±10% | |
外觀與可靠度規格
向右滑動表格| 使用波段範圍 | VIS / UV-VIS-NIR | 表面品質 | 10/5 (MIL-PRF-13830B) or Semi level |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | Semi, Reclaim wafer | 邊緣無效區 | ≦2mm |
| 基板材質 | Glass, Si or else | 翹曲 | <1mm |
| 基板範圍(圓形) | ≦Φ300mm | 附著性(百格試驗) | Pass ISO Class#0 & ASTM Class#5B |
| 基板範圍(方形) | ≦350*350 mm | 硬度 | JISK5600,Pencil: ≧9Ｈ,Weight: 750g |
| 基板厚度範圍 | 0.1~1.1 mm | 可靠度測試 | 85℃ 85％ : ≧1000 / 1500 hr |
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