2020.08.21

通過經濟部中小企業處小型企業創新研發計畫(SBIR)

以電漿發射光譜術提升電漿輔助反應性磁控濺鍍光學薄膜之製程良率技術開發。

執行日期：2020/07/01~2021/06/30

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